发明名称 CHANNEL WIRING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01232743(A) 申请公布日期 1989.09.18
申请号 JP19880060021 申请日期 1988.03.14
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 UCHIDA KAZUYUKI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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