发明名称 LOAD MONITOR AND IN-PROCESS CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH09210813(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960039100 申请日期 1996.02.02
申请人 KUMAKURA:KK 发明人 KADOMA AKIRA;YU MASAO
分类号 G01L1/16;B23Q17/09;H01L41/08;(IPC1-7):G01L1/16 主分类号 G01L1/16
代理机构 代理人
主权项
地址