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发明名称 VERFAHREEN ZUM VERMISCHEN HOCHAKTIVER CHEMIKALIEN UND VORRICHTUNG ZUM AUFTRAGEN VON BEARBEITUNGSCHEMIKALIEN AUF SUBSTRATFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE3523509(A1) 申请公布日期 1986.02.27
申请号 DE19853523509 申请日期 1985.07.01
申请人 FSI CORP. 发明人 C. BURKMAN,DON
分类号 C23G3/00;B01F5/02;B05B7/08;C23F1/16;C23G1/00;C30B33/00;C30B33/10;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):B05D1/34;B05D1/02;B01F3/08;B01F3/20;B08B3/02 主分类号 C23G3/00
代理机构 代理人
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