发明名称 |
ブロック共重合体を用いて基板の表面にパターンを作製する方法 |
摘要 |
A method for making patterns on the surface of a substrate by graphoepitaxy, includes depositing a layer of resin on the surface of the substrate; making patterns in the resin on the surface of a substrate; curing the patterns in the resin by producing a layer of amorphous carbon on the surface of the patterns in the resin; depositing a layer of statistical copolymer after curing the patterns in the resin; grafting the layer of statistical copolymer onto the patterns in the resin by annealing; and depositing a layer of a block copolymer into the spaces defined by the patterns in the resin after curing the patterns and the grafting of the layer of statistical copolymer. |
申请公布号 |
JP5973557(B2) |
申请公布日期 |
2016.08.23 |
申请号 |
JP20140511824 |
申请日期 |
2012.05.18 |
申请人 |
コミッサリア ア レネルジ アトミック エ オ エネルジ アルテルナティヴCommissariat a lenergie atomique et aux energies alternatives;センター ナショナル デ ラ レシェルシェ サイエンティフィック(シーエヌアールエス)CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE(CNRS) |
发明人 |
ティロン,ラルカ;ゴーギラン,ステファニー;シュヴァリエ,ザヴィエ;テデスコ,セルジュ |
分类号 |
H01L21/027;B82Y30/00;B82Y40/00;G03F7/40 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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