发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09260648(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960062850 申请日期 1996.03.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUWABARA MASASHI
分类号 H01L29/74;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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