发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100255879(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19930008879 申请日期 1993.05.22
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO.,LTD. 发明人 NAGASE, KYOKO;OSAKI, HARUYOSHI;MORIUMA, HIROSHI
分类号 G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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