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发明名称
POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR100255879(B1)
申请公布日期
2000.06.01
申请号
KR19930008879
申请日期
1993.05.22
申请人
SUMITOMO CHEMICAL CO.,LTD.
发明人
NAGASE, KYOKO;OSAKI, HARUYOSHI;MORIUMA, HIROSHI
分类号
G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023
主分类号
G03F7/022
代理机构
代理人
主权项
地址
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