光プローブ、検査装置、検査方法

摘要

コア層と該コア層を覆うよう形成されたクラッド層とを有した光導波路と、 前記光導波路の先端部を支持する支持部材と、を有する光プローブ。前記コア層に、光導波路コアと、その端部に設けられ、外部に光を出力または外部から光を入力する入出力面を有し、前記光導波路コアで伝搬される光の伝搬方向と前記入出力面からの光の入出力方向との間で光軸方向を変換する回折格子とが設けられ、前記支持部材は、前記入出力面が予め定めた方向を向くよう前記回折格子を支持する。