发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0428265(A) 申请公布日期 1992.01.30
申请号 JP19900133095 申请日期 1990.05.23
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 INOUE SHIGETO
分类号 H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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