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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02218159(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890038046 申请日期 1989.02.17
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 KURAISON TORONNAMUCHIYAI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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