发明名称 PROCEDE DE PREPARATION DE DISILANE.
摘要 <P>Procédé de préparation de disilane, du genre où un gaz brut incorporant du monosilane, du disilane, du trisilane et des impuretés telles que phosphine, hydrogène sulfuré, arsine, disiloxane et siloxanes supérieurs, est soumis à une étape de séparation par distillation pour l'élimination substantielle des autres composés du silicium, à l'exception du disiloxane, et l'élimination substantielle des impuretés phosphine, hydrogène sulfuré et arsine, caractérisé en ce qu'on procède à une épuration finale du disilane par adsorption sélective sur tamis moléculaires, dont l'un est un tamis du type 3 A pour l'élimination des siloxanes et de l'hydrogène sulfuré et l'autre un tamis du type 4 A pour l'élimination de la phosphine et de l'arsine.</P>
申请公布号 FR2652346(A1) 申请公布日期 1991.03.29
申请号 FR19890012478 申请日期 1989.09.22
申请人 AIR LIQUIDE 发明人 PARENT JEAN-CLAUDE;RENAUDIN MARIE-HELENE
分类号 B01J20/18;C01B33/04 主分类号 B01J20/18
代理机构 代理人
主权项
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