发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03248537(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900047683 申请日期 1990.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 KODAMA NORIAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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