| 摘要 |
본 발명은 발광 효율을 극대화하며 수명을 향상시킨 유기전계 발광소자의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 특징은 제 1 전극과 정공주입층을 포함하여 다중층 구조를 갖는 유기 발광층과 제 2 전극으로 이루어진 유기전계 발광 다이오드와 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 구비한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 있어서, 제 1 전극을 형성한 후, 이와 접촉하는 정공 주입층을 형성함에 있어서 열 기상 증착 시 소정의 에너지 밀도를 갖는 이온 빔을 함께 조사하는 것을 특징으로 한다. 이를 통해, 정공 주입층이 입자간 치밀한 구성을 가지며, 보이드 형성없이 균일하게 연속적인 형태로 형성되므로, 터널링 효과가 극대화되어 발광 효율이 향상되고, 제 1 전극으로부터 인듐 등의 불순물이 유기 발광 물질층으로 침투 및 확산되는 현상을 억제시켜 소자의 효율을 향상시키고 나아가 소자의 수명을 향상시키는 효과가 있다. |
