发明名称 METHOD OF GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07130657(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930302359 申请日期 1993.11.08
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 IKEDA MASAKIYO;SHIINA TAIICHI;IKEDA SHIGEAKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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