| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SUPERIOR STEP COVERAGE AND INTERFACE CONTROL FOR HIGH K DIELECTRIC CAPACITORS AND RELATED ELECTRODES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1101249(A1) |
申请公布日期 |
2001.05.23 |
| 申请号 |
EP19990937559 |
申请日期 |
1999.07.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
DORNFEST, CHARLES;EGERMEIER, JOHN;KHURANA, NITIN |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L29/92;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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