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发明名称 VACUUM PROCESSING
摘要
申请公布号 GB2176502(A) 申请公布日期 1986.12.31
申请号 GB19860013082 申请日期 1986.05.29
申请人 * VARIAN ASSOCIATES INC 发明人 DONALD REX * BOYS;WALTER EDGAR * GRAVES
分类号 H01L21/677;B65G49/07;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/67;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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