发明名称 Method for fabricating a DRAM cell capacitor
摘要
申请公布号 GB2336942(A) 申请公布日期 1999.11.03
申请号 GB19990001728 申请日期 1999.01.26
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 CHANG-WON * CHOI;CHANG-HWAN * LEE;CHUL * JUNG;MIN-SEOK * HAN
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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