发明名称 Vorrichtung zum Ablösen von Bauelementen von einer Folie
摘要
申请公布号 DE29723931(U1) 申请公布日期 1999.08.26
申请号 DE19972023931U 申请日期 1997.08.11
申请人 GENERAL SEMICONDUCTOR IRELAND, MACROOM 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/58;H01L21/78 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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