Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Gewinnung borabgereicherter Chlorsilane aus einer borhaltigen Chlorsilanmischung durch destillative Abtrennung eines borangereicherten Destillationsstroms. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Gewinnung borabgereicherter Chlorsilane aus einer borhaltigen Chlorsilanmischung.
申请公布号
DE102007014107(A1)
申请公布日期
2008.09.25
申请号
DE200710014107
申请日期
2007.03.21
申请人
EVONIK DEGUSSA GMBH
发明人
SCHWARZ, CHRISTOPH;SCHWARZ, DOROTHEA;RAULEDER, HARTWIG;PAULI, INGO;NELTE, ANDREAS;SEILER, HARALD