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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG NITRIDHALTIGER SCHICHTEN IN DER GASPHASE
摘要
申请公布号 DD153704(A1) 申请公布日期 1982.01.27
申请号 DD19800224736 申请日期 1980.10.24
申请人 ALISCH,GERT,DD;SCHROETER,WERNER,DD;SCHIRMER,WERNER,DD 发明人 ALISCH,GERT,DD;SCHROETER,WERNER,DD;SCHIRMER,WERNER,DD
分类号 (IPC1-7):C23C11/14 主分类号 (IPC1-7):C23C11/14
代理机构 代理人
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