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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02218129(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890039629 申请日期 1989.02.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAJIMA SHIGERU;SEKIGUCHI TAKESHI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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