发明名称 |
GRAPHITE-SUPPORTING CONTAINER HAVING CALCIUM IMPURITY IN LOW CONCENTRATION AND ITS USE IN PRODUCTION OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1129395(A) |
申请公布日期 |
1999.02.02 |
申请号 |
JP19970178101 |
申请日期 |
1997.07.03 |
申请人 |
MEMC ELECTRON MATERIALS INC |
发明人 |
MOOSEN BANAN;RICHARD L HANSEN |
分类号 |
C30B15/10;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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