固态摄像装置及固态摄像装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种固态摄像装置及固态摄像装置的制造方法。固态摄像装置具备半导体层、光电转换元件、浮动扩散区、多个栅极以及半导体区域。光电转换元件设置在半导体层。浮动扩散区设置在半导体层的一表面侧的较浅位置。多个栅极分别与浮动扩散区相邻而设，且朝向光电转换元件往半导体层的深度方向延伸。半导体区域面向浮动扩散区而设置在栅极之间。

主权项

一种固态摄像装置，其特征在于具备：半导体层；光电转换元件，设置在所述半导体层；浮动扩散区；设置在所述半导体层的一表面侧的较浅位置；多个栅极，分别与所述浮动扩散区相邻而设，且朝向所述光电转换元件往所述半导体层的深度方向延伸；以及半导体区域，面向所述浮动扩散区而设置在所述栅极之间。