| 摘要 |
<p>평면연삭장치로 기판을 연삭할 경우, 연삭액의 유통을 원할하게 함과 동시에, 연삭층을 지석내에서 재빨리 지석 밖으로 배출하는 것을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하기 위하여, 환형상의 주벽(周壁)과 그 일단에 형성된 바닥벽을 구비한 컵형상 금속받침의 상기 바닥벽과는 반대면의 상면에 환형상 지석을 고정한 컵휠형 지석에 있어서, 상기 금속받침은 바닥벽의 바깥면에 주벽과 동심으로 형성된 환형상홈(56)과, 이 환형상홈 내로 공급되는 연삭액을 주벽의 내측으로 도입하기 위해서 이 환형상홈의 바닥벽에서 상기 바닥면을 관통하여 형성되고, 이 주벽의 타단측으로 향할수록 외주측으로 경사지며, 또한 주벽에 동심에서 등간격으로 형성된 다수의 연삭액 도입구멍(57)을 구비하며, 바닥벽과는 반대면의 주벽의 상면에 고정된 환형상의 지석은 주벽의 정상면보다 돌출하여 있는 부분에 있어서 주벽 및 환형상홈이 공유하는 축심과 이 축심에 직교하는 환형상 지석의 기립면에 대하여, 축심측에서 지석의 바깥측으로 향하여 30 내지 60 도 경사진 연삭액 배출용 슬릿(58)이 등간격으로 다수 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 평면연삭장치용 컵휠형 지석</p> |
