发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03239348(A) 申请公布日期 1991.10.24
申请号 JP19900037101 申请日期 1990.02.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUKAMOTO KAZUHIRO
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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