氟气产生装置及氟气产生方法以及氟气

摘要

一种氟气产生装置，系将由KF.2HF组成的电解浴24加以电解来产生高纯度氟气之形态的氟气产生装置，其特征为具备：将KF或KF.HF调制成KF.2HF的调制系统A、将HF供给至前述电解浴24和前述调制系统A中的HF供给系统B、及将藉由前述调制系统A所调制出来的KF.2HF加以电解来产生氟气的氟气产生系统C。