发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HEATING STAND
摘要
申请公布号 JPH03248431(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046108 申请日期 1990.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 MORI MATSUTOMO
分类号 C23C14/50;H01L21/324 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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