发明名称 METHOD FOR STRIPPING A PHOTORESIST USING HIGH TEMPERATURE
摘要
申请公布号 KR0149209(B1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 KR19940030548 申请日期 1994.11.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LUTSIC ROBECCA CHRISTINE;MURRAY, JAMES RICHARD;SISSENTEIN JR., DAVID WILLIAM
分类号 G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
地址