发明名称 METHOD FOR ISOLATING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH11251423(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980372979 申请日期 1998.12.28
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 SU JIN SEO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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