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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH02100335(A)
申请公布日期
1990.04.12
申请号
JP19880252988
申请日期
1988.10.07
申请人
NEC CORP
发明人
IWATA TADASHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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