| 发明名称 | 机器人手臂及对基板进行对位的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种机器人手臂，包括底座，设置于底座上的、用于承载基板的承载手臂，用于驱动承载手臂运动的驱动系统，还包括与承载手臂连接的基板对位装置，基板对位装置包括：第一位置信息采集单元，用于获得承载手臂承载基板后，基板位于承载手臂上的第一位置时的第一位置信息；偏移信息获取单元，用于根据第一位置信息与基板位于标准位置时的第二位置信息获得基板的位置偏移信息；调节单元，用于根据位置偏移信息生成一控制信息，使得驱动系统驱动承载手臂移动以将基板投放于目标位置。本发明还提供一种对基板进行对位的方法。通过基板对位装置的设置不改变当前机器人手臂与基板的相对位置关系自动修正位置偏差，防止基板发生碰撞。 | ||
| 申请公布号 | CN105895562A | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201610158135.X | 申请日期 | 2016.03.18 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 陈鑫;高超;姚庆阳;齐江华;程玉江 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种机器人手臂，包括底座，设置于底座上的、用于承载基板的承载手臂，用于驱动所述承载手臂运动的驱动系统，其特征在于，还包括与所述承载手臂连接的基板对位装置，所述基板对位装置包括：第一位置信息采集单元，用于获得所述承载手臂承载基板后，基板位于承载手臂上的第一位置时的第一位置信息；偏移信息获取单元，用于根据所述第一位置信息与基板位于标准位置时的第二位置信息获得基板的位置偏移信息；调节单元，用于根据所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驱动系统驱动承载手臂移动以将基板投放于目标位置。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||