发明名称 VERFAHREN ZUR ENTFERNUNG IONISCHER VERUNREINIGUNGE
摘要
申请公布号 DE602006004361(D1) 申请公布日期 2009.01.29
申请号 DE200660004361T 申请日期 2006.08.21
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 BECK, THOMAS;SCHREIER, HANS-JUERGEN;STEINBERGER, GERHARD;KUBITZA, IRENE
分类号 C11D11/00;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/306;H05K3/26 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
主权项
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