| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11154673(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970319474 |
申请日期 |
1997.11.20 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KISHIMOTO KOJI;KOYANAGI KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/768;C23C16/505;H01L21/31;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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