发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, ITS MANUFACTURE, AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0684733(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920235632 申请日期 1992.09.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 HISAMOTO MASARU;KATAGIRI SOUICHI
分类号 H01L21/02;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/02;H01L29/784 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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