| 发明名称 |
SECONDARY-ELECTRON DETECTOR AND ELECTRON BEAM DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11233060(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980034675 |
申请日期 |
1998.02.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ABE TAKAYUKI;HONJO ICHIRO |
| 分类号 |
H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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