发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10340911(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970152108 申请日期 1997.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 YASUSHIGE HIROAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8228;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/082;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822;H01L21/824 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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