发明名称 Large diameter wafer dryer with adjustable flighting
摘要
申请公布号 AU689155(B2) 申请公布日期 1998.03.26
申请号 AU19940080854 申请日期 1994.10.14
申请人 BELOIT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 RICHARD J. GOBEL;DANIEL W THOMAS
分类号 F26B17/20;F26B11/04;F26B17/10;(IPC1-7):F26B17/10 主分类号 F26B17/20
代理机构 代理人
主权项
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