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发明名称 VERFAHREN UND APPARAT ZUR HERSTELLUNG EINES SEITENWANDKONTAKTS IN EINER ELEKTRISCH VERÄNDERBAREN NICHTFLÜCHTIGEN SPEICHERZELLE
摘要
申请公布号 DE68928501(D1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE19896028501 申请日期 1989.07.21
申请人 XICOR, INC., MILPITAS, CALIF., US 发明人 YEH, BING, MOUNTAIN VIEW, CA 94040, US
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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