六梁结构加速度传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种六梁结构加速度传感器及其制备方法。它包括通过弹性梁、连接在左右键合块上的带有活动电极的质量块和与上下键合块连接的位于质量块上下的固定电极，弹性梁包括双折梁和抗干扰梁，上下两个固定电极相互独立，活动电极通过质量块连接在一起，上下固定电极与活动电极构成一对差分电容，工作时两差分电容的大小随外加加速度变化的趋势正好相反，左右键合块以及与固定电极连接的上下键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，抗干扰能力强、无横向(非敏感方向)干扰，灵敏度高、结构简单，设计灵活，易于加工等。

主权项

1、一种六梁结构加速度传感器，其特征是：它包括通过弹性梁、连接在左右键合块上的带有活动电极的质量块和与上下键合块连接的位于质量块上下的固定电极，弹性梁包括双折梁和抗干扰梁，上下两个固定电极相互独立，活动电极通过质量块连接在一起，上下固定电极与活动电极构成一对差分电容，工作时两差分电容的大小随外加加速度变化的趋势正好相反，左右键合块以及与固定电极连接的上下键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。