PYROLYTISCHES BORNITRID-ELEMENT UND EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN

摘要

Es ist eine Aufgabe der Erfindung ein pyrolytisches Bornitrid-Element mit guter Rissbestaendigkeit bereitzustellen, das als Verbundhalbleiter-Ziehtiegel und dergleichen verwendet werden kann. Eine weitere Aufgabe ist es, ein Verfahren zur Herstellung desselben pyrolytischen Bornitrid-Elements bereitzustellen. Die vorliegende Erfindung betrifft ein pyrolytisches Bornitrid-Element, das durch Abscheidung von pyrolytischem Bornitrid geformt wird, dadurch gekennzeichnet, dass von 0,001 bis einschließlich 3 atm% O-Atome (Sauerstoffatome) in dem pyrolytischen Bornitrid enthalten sind. Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines pyrolytischen Bornitrid-Elements durch ein Dampfabscheidungs-Verfahren (CVD), dadurch gekennzeichnet, dass einem N-Atome (Stickstoffatome) enthaltenden Gas und einem B-Atome (Boratome) enthaltenden Gas ein O-Atome enthaltendes Gas hinzugefügt wird.