| 摘要 |
本发明关于制造在低于或等于1600℃的温度也可以制成烧结体的氮化铝粉末，获得密度和热传导率高、可以适用于基板材料的氮化铝烧结体。使用如图1所示气相反应装置，反应器(2)由加热带(1)进行加热并保持在300～500℃，一边由流量调节计(3)调节，一边通过供给管(4)向反应器(2)导入氨气，同时，一边藉由流量调节计(5)调节，一边藉由供应管(6)导入含有机铝化合物的氮气，从而得到氮化铝粉末。将其在还元性气体气氛和／或惰性气体气氛中在1100～1500℃进行热处理，对所得到氮化铝凝集粉末再经机械处理，成为比表面积值大于等于30m^2／g、且平均粒子粒径与比表面积换算的粒子粒径的比率小于等于10的氮化铝粉末。 |
