| 发明名称 |
FABRICATION OF PIEZOELECTRIC RESISTANCE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07131035(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930273527 |
申请日期 |
1993.11.01 |
| 申请人 |
ESASHI MASAKI;SHIMADZU CORP |
发明人 |
ESASHI MASAKI;NISHIMOTO HISAHIRO |
| 分类号 |
G01P15/12;G01H11/06;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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