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发明名称 PLASMA TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09181052(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19960153357 申请日期 1996.05.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;GOTO NAOHISA;ANDO MAKOTO;TAKADA JUNICHI;HORIIKE YASUHIRO 发明人 ISHII NOBUO;GOTO NAOHISA;ANDO MAKOTO;TAKADA JUNICHI;HORIIKE YASUHIRO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/507;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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