Verfahren zur Ausbildung einer Strukturierung an Oberflächen von Bauteilen mit einem Laserstrahl

摘要

Verfahren zur Ausbildung einer Oberflächenstrukturierung an Oberflächen von Bauteilen mit einem Laserstrahl, bei der der Laserstrahl (1) auf ein diffraktives optisches Element (2) gerichtet und mit dem diffraktiven optischen Element (2) in mindestens zwei Teilstrahlen (1.1 und 1.2) aufgespalten wird und die Teilstrahlen (1.1 und 1.2) mit einem Winkel α in Bezug zur optischen Achse des Laserstrahls (1) auf mindestens ein weiteres optisches Element (3), das für die Laserstrahlung transparent ist, gerichtet werden; wobei das/die weitere(n) optische(n) Element(e) (3) eine erste Oberfläche aufweist/aufweisen und eine zweite Oberfläche aufweist/aufweisen, die in einem Winkel zur optischen Achse de Laserstrahls (1) geneigt ist, an der die Teilstrahlen (1.1 und 1.2) durch optische Brechung in ihrer Strahlrichtung verändert werden, und die Teilstrahlen (1.1 und 1.2) mit einer zwischen dem/den weiteren optischen Element(en) (3) und einer zu bearbeitenden Bauteiloberfläche angeordneten fokussierenden optische Linse (4) so fokussiert werden, dass sie an einer gemeinsamen Position mit einem Einfallswinkel β in Bezug zur optischen Achse des Laserstrahls (1) auf die Oberfläche des Bauteils auftreffen; wobei der Abstand d1 zwischen dem diffraktiven optischen Element (2) und dem weiteren optischen Element (3) verändert wird, um die Interferenzperiode zu verändern.