| 发明名称 |
CONTROLLER FOR VAPOR DEPOSITED FILM THICKNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05287528(A) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
| 申请号 |
JP19920090460 |
申请日期 |
1992.04.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
TSUKUDA KAZUHIRO;KONO SUSUMU;NISHIZAKI JUNICHI;ISHIBASHI NAOHIKO;ITAI KEISUKE |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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