光栅元件以及外部谐振器型发光装置

摘要

不使用珀耳帖元件就能够抑制跳模，提高波长稳定性，并抑制光强度变动。光栅元件1包含：支撑基板10，光学材料层11，其设置在支撑基板上、厚度为0.5μm～3.0μm，脊型光波导，其是在上述光学材料层上由一对脊型沟槽形成的，具有射入半导体激光的入射面和射出所需波长的出射光的出射面，布拉格光栅12，其由形成在光波导内的凹凸所构成；及传播部13，其设置在入射面和布拉格光栅之间。该光栅元件1满足式(1)～式(4)的关系:0.8nm≤Δλ_G≤6.0nm···(1)：10μm≤L_b≤300μm···(2)：20nm≤td≤250nm···(3)：n_b≥1.8···(4)。

主权项

一种光栅元件，包括：支撑基板，光学材料层，其设置在所述支撑基板上，厚度为0.5μm～3.0μm，脊型光波导，其是在所述光学材料层上通过一对脊型沟槽形成的，具有射入半导体激光的入射面和射出所需波长的出射光的出射面，布拉格光栅，其由形成在所述脊型光波导内的凹凸所构成，以及传播部，其设置在所述入射面和所述布拉格光栅之间，所述光栅元件满足下述式(1)～式(4)的关系，0.8nm≤△λ_G≤6.0nm  ……(1)10μm≤L_b≤300μm  ……(2)20nm≤td≤250nm  ……(3)n_b≥1.8  ……(4)在式(1)中，△λ_G是布拉格反射率的峰值的半高宽，在式(2)中，L_b是所述布拉格光栅的长度，在式(3)中，td是构成所述布拉格光栅的凹凸的深度，在式(4)中，n_b是构成所述布拉格光栅的材质的折射率。