铝金属层结构的制造方法

摘要

一种铝金属层结构的制造方法，其特征系在于对晶圆进行具有复数个循环步骤的高温钝化(Passivation)与去光阻步骤，其中此高温钝化与去光阻步骤系将承载晶圆之基座(Pedestal)的温度控制在介于约310℃至约360℃之间。每一个循环步骤系交替进行一去光阻步骤与一钝化步骤，其中去光阻步骤所使用的反应气体至少包括氧气(O2)，钝化步骤所使用的反应气体至少包括水气(H2O)。