一种MOCVD系统用的加热盘

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD系统用的加热盘，包括有加热盘本体，还包括有易熔导电材料和电极；所述加热盘本体由上盖和底座组成，所述底座上形成有环形沟道，所述易熔导电材料填充在环形沟道内，所述上盖盖在底座上，其下表面与底座的上表面贴合处是完全密封的，以保证易熔导电材料完全在环形沟道内流动，而不会溢出，并且，所述上盖与环形沟道之间预留有供易熔导电材料热膨胀的空间；所述电极安装在环形沟道的末端，其上部分嵌入底座与易熔导电材料充分接触，其下部分形成有安装螺纹，能够安装电源线。本实用新型的机械强度高，热辐射均匀性好。

主权项

一种MOCVD系统用的加热盘，包括有加热盘本体，其特征在于：还包括有易熔导电材料和电极；所述加热盘本体由上盖和底座组成，所述底座上形成有环形沟道，所述易熔导电材料填充在环形沟道内，所述上盖盖在底座上，其下表面与底座的上表面贴合处是完全密封的，以保证易熔导电材料完全在环形沟道内流动，而不会溢出，并且，所述上盖与环形沟道之间预留有供易熔导电材料热膨胀的空间；所述电极安装在环形沟道的末端，其上部分嵌入底座与易熔导电材料充分接触，其下部分形成有安装螺纹，能够安装电源线。