| 发明名称 |
XY-verplaatsingsinrichting. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1000815(C2) |
申请公布日期 |
1997.01.15 |
| 申请号 |
NL19951000815 |
申请日期 |
1995.07.14 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT |
发明人 |
WILLEM CHRISTIAAN HEERENS;CHARLES DAVID LAHAM;ALBERT EDMOND HOLMAN |
| 分类号 |
G01B21/00;G01N13/10;G01N37/00;H01J37/20;H01J37/28;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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