摘要 |
本発明においては、変換効率が高く光入射面が精密に加工された結晶シリコン太陽電池の製造方法を提供することである。第一透明電極層6を形成する第一透明電極層形成工程と、第二主面側の面のほぼ全面に、銅を主成分とする裏面電極層11を形成する裏面電極層形成工程を含み、 前記第一透明電極層形成工程及び裏面電極層形成工程後に、第一主面側の少なくとも第一透明電極層6と、第二主面側の少なくとも第二透明電極層10及び裏面電極層11と、の短絡が除去されるように絶縁領域30を形成する絶縁処理工程を行い、絶縁処理工程は、一導電型単結晶シリコン基板2の外周部側面から3mm以内の位置に、第一主面側から、第一主面外周部の全周に亘ってレーザー光を照射する工程を有する。 |