Elektro-Optische Abtast-Sondiervorrichtung

摘要

Eine elektro-optische Abtast-Sondiervorrichtung wird verwendet, um eine Wellenform eines zu messenden Signals, welches an einen Schaltkreis eines IC-Wafers (1) angelegt wird, zu messen. Dabei strahlt ein Laser (8) Laserstrahlen aus, welche mittels einer Lichtleitfaser (7) einem optischen Modul (6) zugeführt werden, welches einen optischen Isolator und Photodioden aufweist. Dann treten die Laserstrahlen durch ein optisches Wellenlängenfilter (5), um durch eine Abtastereinheit (4) fortzuschreiten. Die Laserstrahlen treffen auf ein elektro-optisches Element (2) auf, dessen Polarisationszustand sich in Abhängigkeit eines elektrischen Feldes, das durch das gemessene Signal verursacht wird, ändert. Die Laserstrahlen werden an einem Oberflächenspiegel des elektro-optischen Elements (2) reflektiert, so daß sich die reflektierten Strahlen rückwärts durch die Abtastereinheit (4) ausbreiten und durch das optische Wellenlängenfilter (5) zum optischen Modul (6) zurücklaufen. Während der Messung beobachtet eine Bedienungsperson ein Bild eines ausgewählten Abschnitts des IC-Wafers (1), der momentan unterhalb der Abtastereinheit (4) angeordnet ist, um die relative Position zwischen der Abtastereinheit (4) und dem IC-Wafer (1) einzustellen. Das Bild wird durch eine Infrarotkamera (10) erzeugt, welche mit einer Halogenlampe (9) und einem Monitor (10a) ausgerüstet ist. Im übrigen weist das optische Wellenlängenfilter (5) eine optische Kennlinie auf, so daß eine Mittenwellenlänge der ...